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日本ATA金屬等離子鍍膜機(jī)介紹

發(fā)布時(shí)間:2022-04-12 點(diǎn)擊量:923

日本ATA金屬等離子鍍膜機(jī)介紹 AT-ET, AT-ETa

特征

通過結(jié)合旋轉(zhuǎn)泵并使其成為桌面型,實(shí)現(xiàn)了小空間。
操作簡(jiǎn)單,從排氣到涂裝完成自動(dòng)響應(yīng)。
采用數(shù)字顯示器,便于了解真空度。
低價(jià)。

目標(biāo):Au Pt Ag Au-Pd In 可用。(Φ30 t:0.1 mm,In 為 0.5 mm)(另售)
使用 In 時(shí),我們推薦與氬氣兼容的 AT-ETa。

規(guī)格


濺射
DC磁控濺射
放電電壓:DC 1500V max
放電電流:從DC 10、20、30、40mA中選擇
目標(biāo)(單獨(dú)出售)可以使用厚度為φ30、0.1mm的Au、Pt、Ag、Au(8)-Pd(2)和厚度為φ30、0.5mm的In。
使用的氣體

空氣,Ar(Ar 僅適用于 AT-ETA)

達(dá)到真空壓力8Pa以下
腔室尺寸φ87mm
樣品架φ70mm
真空排氣旋轉(zhuǎn)泵(10L/min)*內(nèi)置
尺寸機(jī)身 250W x 370D x 325H
重量機(jī)身約15kg
電源供應(yīng)交流 100V 3A


涂層示例

◆ 不平整樣品的圖像(濾紙表面)(SEM圖像)

放大倍率 x 2,000 倍




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